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面精度保证反射镜
最优化的基板材质,厚度和镀膜条件,是高面型精度的反射镜。
保证镀膜后的面型精度为λ/10。
面型精度(镀膜后)比以往的多层电介质膜平面反射镜(TFM)更高。
由于使用合成石英基板,基板变厚,基板的刚性也提高了。
适用于紫外激光或YAG激光各波长的高反射率反射镜,已有系列产品。